本文標題："透明導電TCO膜具有良好的導電性及透光性"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2013-6-16 0:43:51

透明導電氧化物(TCO)的薄膜被重視，因為它們已被用來作為透明電極，在各領

域，如太陽能電池、平面顯示器和發光元件。氧化鋅（ZnO）是一種很有前途替代

氧化銦錫(ITO)的材料，氧化鋅薄膜為N型Ⅱ–Ⅵ族半導體具有寬能隙(室溫下約3.37ev)，

屬六方最密堆積纖鋅礦結構(hexagonal wurtzite structure)，

因具有良好的導電性及透光性，TCO薄膜材料的開發、性質與制程的改良、以及應用研究

等，一直都備受重視，特別是在光電領域方面。由于純ZnO薄膜導電性與熱穩定性

不佳，一般常摻入Al、Ga、In等雜質來提升其導電性與改善其熱穩定，IZO(indium-

doped ZnO)薄膜在導電性提升上有很大的幫助。由于In3+離子比Zn2+離子多一價電

荷，當ZnO晶格中的Zn2+離子被一個In3+離子取代時，可多提供出一個自由載子，所

以IZO薄膜相較于ZnO薄膜，其自由載子濃度較高并且摻雜的In 原子在佔據晶格結

構中之格隙位置，同時會引起晶格結構扭曲，反而會造成電子的移動率下降。當摻

雜其他金屬離子于ZnO中，隨著摻雜的量增加，同樣會造成自由載子濃度提升，電

子移動率下降的現象發生，所以摻雜量對于導電性的提升有很大的影響

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