本文標題："電子顯微鏡固體表面的成像技術簡介-材料顯微結構"

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電子顯微鏡固體表面的成像技術簡介-材料顯微結構

近年來顯微技術中一個新的組成部分已經形成，這就是用局域探

針現(xiàn)場描繪固體表面的成像技術。

通過局域探針，分辨率可以達到原子水平，這也愈味著探針的大

小和在固體表面移動控制的精確度是這一技術分辨率的關鍵。探針通

常位于側試樣品幾個原子大小的距離并且不受介質的形響，在實驗進

行的同時，現(xiàn)場監(jiān)測隨時間表面形貌的變化。對表面的精確掃描是通

過使用壓電裝置，即壓電品體改變的大小隨所加電勢差作線性變化。

壓電裝置安裝在x,y和z 方向，

通常隨y 的變化，在x-z 方向上連續(xù)掃描，這樣就能記錄下一系

列的x-z 曲線。這些數據可以通過計算機進行處理、繪出灰色標度的

圖，如果需要也可以繪出彩色圖。

這些技術中最重要的是掃描隧道顯微鏡（STM ），是Binning 和

Rohrer發(fā)明的，為此他們獲得了1986年的諾貝爾物理獎；其次重要的

是原子力顯微鏡。

具有電化學性質的其它局域探針技術，也依賴于這一相同的技術，

它們是掃描電化學顯微鏡（SECM）和掃描離子導電顯微鏡（SICM）

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